X射線光電子能譜儀

X射線光電子能譜儀

X 射線光電子能譜（XPS）是材料科學和發展的領域中最廣泛使用的表面分析技術。

其原理是利用X射線束（一般會使鋁陽極或鎂陽極）作為入射源，照射在樣品表面導致讓光電子從原子的核心層被激發出。

根據測得的光電子所發出的電子動能，再依照能量守恒定律就可以知道電子的結合能，從而也就可知道樣品表面是何物質。

功能用途：樣品表層元素及價態分析、深度分析、UPS紫外光電子能譜結構分析等

技術特點：具有多種非單色化及單色化的X射線源，大功率羅蘭圓提供更高的分析及能量分辨率，兼具Ar離子或Ar原子團簇模式刻蝕及紫外光電子能譜（UPS）測試等可選附件。